真空泵要处在通风位置或是房间内配有减温设备还可以，缘故也是一样的，只是为了给真空泵的导热性能更强，尽可能减少真空泵的操作温度。耗材立即更换。在其中重要的也是：油雾分离器（排气管过滤芯）跟油。这几种耗材一定要及时的更换。排气管过滤装置如果一旦发生损毁或者其它产品质量问题时第yi时长更换！油出现颜色变色、沉淀增加、出现了乳状液的现象时不能只是局限在给油日常保养，全部都要更换真空泵油
舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功 耗有助于大程度减少客户拥有成本
环保模式可以在 空闲期间多减少 92% 的功耗
高 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求
小且极 轻，有助于节省宝贵的工厂空间
真空泵维修：确定极限真空度，在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的jia工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。
应用
目标应用包括：
PVD
电介质刻蚀
导体刻蚀
金属刻蚀
植入源
客户也将 iGX 用于一系列 清洁和轻负载应用。
真空泵维修为主要的注意点我们需要知道，在当流量计浮子没起来时，说明冷却水管被堵塞，这时将水管快接头用压缩空气吹入管道，观察浮子是否被吹起来，正常情况下浮子应该在上端，尤其在机台的报警温度在1200C，报警功率在3500W，停机功率在5000W，要注意真空泵当时的运行状况叶轮由于长时间的锈蚀和冲蚀，而且材质为铸铁，比较脆，容易碎裂，碎裂后对泵体造成严重的磨损，严重的甚至造成泵的报废，影响生产。
应用
冶金
镀膜
干燥
太阳能
真空腔抽空
主要特性和优势
资金 成本低，维护要求，由此其拥有成本也
减少 用户干预次数
降低 易耗品成本
无 需除油
不 会向大气中排放废油
抽取速度 非常稳定，为制程带来可重复性
大气压 下持续泵送
能够 处理微粒
干式 操作消除了反流，从而使反应合金免受污染。
不易察觉的 噪声级
无 难看的油溅
无 危险油蒸汽
真空泵有很多狠心的维修技术，其中主要的就是间隙的调整。
真空泵维修解决方法如下：
(1)提供电机正确的电压
(2)将电机启动器过载保护的设定数据与电机铭牌的数据相对照，必要时，请校正。如果环境温度较 高：可将设定值根据正常电机电流提高5%
不管是真空泵叶片卡死、缸体磨损、真空泵真空度不足、噪音异常都属于一般真空泵维修。如果真空泵出现缸体爆裂、或者其他比较严重的问题时，就得依据损害配件来确定是否可进行维修
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